2016年1月25日，物理学院拟购的“3D光学轮廓仪”购置可行性论证会在物理学院技物楼激光加速器实验室209会议室召开，会议由物理学院副院长李焱教授主持。

拟购的“3D光学轮廓仪”是一种高精度测量各种复杂的表面3D形貌的系统，该设备将共聚焦、干涉和多焦面叠加技术融合一身，具有极高的空间分辨率（亚纳米级的纵向分辨率）和光滑表面测量斜率70°（粗糙表面达86°）。目前校内无同类设备，无法满足申请人需要。拟购的“3D光学轮廓仪”各项指标先进，满足申请人的科研需求。专家组根据申请人目前开展的新型纳米靶材的制备与表征的需要，认为拟购设备不但具有极高的空间分辨率，还具有干涉成像功能，可测薄膜厚度的检测设备，集共聚焦、白光干涉、相位差干涉、多焦面叠加等功能于一体，可高效率高精度地测量各种复杂的表面3D形貌，可完成针对各种复杂靶材的表面形貌和厚度的表征，完全满足实验需求。该仪器的购置将对北京大学在激光驱动粒子加速及新型光源领域的发展发挥重要作用。

“3D光学轮廓仪”的购置由物理学院马文君特聘研究员申请购置，经费来源为“统筹支持一流大学和一流学科建设经费”。上述仪器设备购置经费已落实，运行经费有保障，专家组一致同意通过“3D光学轮廓仪”的可行性论证。设备购置后将用于服务校内外科研工作，预计年开放共享机时为500小时左右。可行性论证专家组由中科院物理所周维亚研究员、禹日成研究员，北京大学物理学院卢海洋研究员、陆元荣教授、颜学庆教授组成。