2015年7月6日，信息学院拟购的“无掩模数字光刻机，反应离子刻蚀机，低温测试探针台”等三台设备的购置可行性论证会在理科2号楼微纳加工实验室会议室召开，会议由信息学院科研办公室孙琰主任主持。三台设备的购置由信息学院彭练矛教授申请，经费来源为北京市科委重大项目经费。

 “无掩模数字光刻机”是一种不需要掩模版就可以直接光刻出所需图形的光刻机，可以灵活的更改版图设计，省去制版的费用和时间，同时还可以进行灰度光刻，具有灵活、应用范围广的优点，非常适合碳管集成电路初期的光刻版图多变的实验要求。

“反应离子刻蚀机”是在射频电源驱动下生成等离子体，等离子体随后与被刻蚀的材料发生化学反应，生成的挥发性化合物被气流（真空系统）带走，而衬底材料由于被光刻胶（介质掩膜）所覆盖则没有产生上述化学反应，从而实现各向异性的刻蚀设备。

 “低温测试探针台”是一种用于准确表征器件电学输运特性的设备，广泛应用在微电子、电子、物理、材料、纳米科学等领域。该设备可以进行常温、低温以及变温测量，测量环境可以选择大气环境或者高真空环境，从而实现器件在不同环境下工作特性的表征。

拟购的三台设备各项指标先进，可满足申请人的科研需要。专家组根据申请人课题组正在承担的有碳基电子学的研究需要，认为上述三台设备是进行碳基电子器件的机理、制备的必要设备之一，将对北京大学碳基电子器件的物理和制备的各类课题研究具有重要的推动意义。

上述仪器设备购置经费已落实，运行经费有保障，专家组一致同意通过“无掩模数字光刻机，反应离子刻蚀机，低温测试探针台”的可行性论证。设备购置后将在满足申请人课题组科研需要的同时对校内外开放共享，预计年开放共享机时分别为200、300、300小时左右。可行性论证专家组由中科院微电子所殷华湘研究员、中科院物理所杨海方研究员、中科院半导体所薛春来研究员、清华大学伍晓明教授、北京大学信息物理学院赵清教授组成。