我校信息科学技术学院购置的德国SENTECH公司的“反应离子刻蚀机”于2016年2月24日到货。该设备由北京市科委重大项目经费支持，将用于有碳基电子学的研究，是进行碳基电子器件的机理研究及制备的必要设备。拟安装综合科研楼B122室，责任教授为彭练矛教授。

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2015年7月6日信息学院“无掩模数字光刻机，反应离子刻蚀机，低温测试探针台”等3台设备通过可行性论证

2015年8月13日由东方国际招标有限责任公司进行了公开招标