我校信息科学技术学院购置的德国SENTECH INSTRUMENTS GMBH公司“反应离子刻蚀机”于2016年3月2日到货。该设备由“统筹支持一流大学和一流学科建设”经费支持，将用于环栅半导体纳米线超高频器件的研究，是进行金属刻蚀和非硅非碳基材料刻蚀的必要设备。拟安装在理科二号楼2013室，责任教授为陈清教授。

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2015年8月27日信息学院“离子刻蚀机”通过可行性论证【15-037】

2015年9月22日北京大学信息学院“反应离子刻蚀机”招标采购项目(2015[040])完成