2016年5月16日，信息学院拟购的“电子束曝光机”可行性论证会在勺园5乙楼305会议室召开，会议由实验室与设备管理部部长张新祥教授主持。

“电子束曝光机”是利用聚焦电子束对有机聚合物（通常称为电子抗蚀剂或光刻胶）进行照射，受辐照后的有机聚合物的理化性质发生变化，从而形成精细图形的设备。目前校内同类设备使用机时饱满，无法满足申请人需要。拟购的“电子束曝光机”各项指标先进，满足申请人的科研需求。专家组根据申请人目前开展的集成化的碳基器件和半导体器件中纳米图形的曝光和制作加工的需要，认为拟购设备具有电压范围可调、写场大、套刻精度高、加工速度快、束流稳定性高等特点，可实现任意形状长路径或周期性结构的零拼接误差的快速曝光。该仪器的购置将对北京大学在纳米器件和集成电路相关领域的研发和制备发挥重要作用。

“电子束曝光机”的购置由信息学院彭练矛教授申请，经费来源为微纳加工实验室维修维护经费。设备购置经费已落实，运行经费有保障，专家组一致同意通过“电子束曝光机”的可行性论证。该设备作为校级公共平台微纳加工实验室的重要设备之一，年使用率将大于3000小时。可行性论证专家组由中国科学院北京纳米能源与系统研究所王玉光研究员，中国科学院物理所杨海方研究员，清华大学微电子系杨轶副研究员，北京大学信息科学技术学院张志勇教授，北京大学物理学院罗强研究员组成。