我校信息科学技术学院“磁控溅射台”、“电子束蒸发台”、“晶圆键合机”招标采购项目（2016[021]）评标会于2016年6月22日上午在实验室与设备管理部会议室召开，会议由周勇义部长主持。本项目分A、B、C三包。评标委员会对A包（磁控溅射台）和B包（电子束蒸发台）投标商所投方案的价格、技术指标、商务应答等进行了认真的审核和讨论，最终经专家评分，确认Denton Vacuum LLC 美国丹顿真空设备有限公司为A包和B包中标商；评标委员会对C包（晶圆键合机）投标商所投方案的价格、技术指标、商务应答等进行了认真的审核和讨论，一致确认采购镭社有限公司所投产品。该项目由学科建设经费支持，拟购的设备将用于提升微纳加工平台工艺能力，支撑高水平科研项目。