2016年11月2日，化学学院拟购的“电子束曝光系统”购置可行性论证会在勺园5乙楼305会议室召开，会议由实验室与设备管理部黄凯副部长主持。

    拟购的“电子束曝光系统”是利用聚焦电子束对有机聚合物（通常称为电子抗蚀剂或光刻胶）进行照射，受辐照后的有机聚合物的理化性质发生变化，从而形成精细图形的设备。目前校内同类设备使用率高，机时饱满。拟购设备各项指标先进，可满足申请人的科研需要。专家组根据申请人课题组正在从事构筑微纳级别器件的研究需要，认为拟购设备集电子光学、精密机械、超高真空、计算机自动控制等近代高新技术于一体，具备以单原子层为单位的薄膜制备精度，可以制备各类金属薄膜和金属氧化物薄膜，为相关课题研究提供高质量的单晶样品，是制备纳米磁性材料的关键设备之一。设备的购置将为北京大学的纳米磁学研究起到积极的推动作用。

    “电子束曝光系统”的购置由化学学院刘忠范院士申请，经费来源为“统筹支持一流大学和一流学科建设经费”和“仪器维修维护费”。上述仪器设备购置经费已落实，运行经费有保障，专家组一致同意通过上述设备的可行性论证。设备购置后将用于服务校内外科研工作，预计年开放共享机时为500小时左右。可行性论证专家组由中国科学院北京纳米能源与系统研究所王玉光研究员，中国科学院物理所杨海方研究员，清华大学微电子系杨轶副研究员，北京大学信息科学技术学院张志勇教授，物理学院罗强研究员组成。