2016年11月11日，物理学院拟购的“全自动反应离子束刻蚀机”购置可行性论证会在物理学院物理西楼208会议室召开，会议由物理学院副院长李焱教授主持。

拟购的“全自动反应离子束刻蚀机”是进行微米纳米器件制备的必要设备，该设备在射频电源驱动下生成等离子体，等离子体随后与被刻蚀的材料发生化学反应，生成的挥发性化合物被气流（真空系统）带走，而衬底材料由于被光刻胶（介质掩膜）所覆盖则没有产生上述化学反应，从而实现器件的各向异性。目前我校同类设备使用机时饱满，专家组根据申请人课题组长期从事YBCO/MgB2约瑟夫森结和SQUID的研究和研制需要，认为拟购设备使用射频放电方式产生刻蚀离子，允许进行物理化学刻蚀（反应离子束刻蚀），同时该设备采用了等离子体桥式电子中和器可提高图形精度，满足课题组对样品刻蚀需要。该设备的购买不但有助于提升北京大学的高温超导研究的水平，亦对相关学科的发展具有重要意义。

“全自动反应离子束刻蚀机”的购置由物理学院王越副教授申请，经费来源为“统筹支持一流大学和一流学科建设经费”。上述仪器设备购置经费已落实，运行经费有保障，专家组一致同意通过上述设备的可行性论证。设备购置后将用于服务校内外科研工作，预计年开放共享机时为200小时左右。可行性论证专家组由北京科技大学材料科学与工程学院常永勤教授，中科院物理所郑东宁研究员，北京大学物理学院徐军教授级高级工程师、赵清副教授，信息学院邢英杰副教授组成。