我校信息科学技术学院购置的 美 国 DENTON VACUUM LLC. 公司的“磁控溅射台”及“电子束蒸发台”于 2017 年 3 月 31 日到货。该批设备由 “建设世界一流大学（学科）和特色发展引导专项”经费支持 ，将用于与 PVD 相关的微纳加工制造工艺的研究。拟安装在微纳电子大厦 101 室，责任教授为张大成教授。

相关信息：

2016 年 5 月 25 日 信息学院三台设备通过可行性论证【16-（021-023）】

http://www.lab.pku.edu.cn/gzdt/148166.htm

2016 年 6 月 22 日 信息学院磁控溅射台、电子束蒸发台、晶圆键合机招标采购项目（ 2016[021] ）完成

http://www.lab.pku.edu.cn/gzdt/142124.htm