2017年9月14日,物理学院拟购的“MOCVD尾气处理设备”购置可行性论证会在物理西楼206会议室召开,会议由物理学院副院长李焱教授主持。
拟购的“MOCVD尾气处理设备”是一种处理MOCVD在外延生长GaN过程中所产生的氨气、氢气等废气的设备。目前校内同类设备使用机时饱满,无法满足申请人需要。专家组根据申请人所在单位的研究需求,认为拟购设备采用高温催化式尾气处理器,避免了爆炸风险和大量氨水/氧化物排放等问题,是适合申请人MOCVD系统正常运转的尾气配套处理设备,是外延生长高质量GaN电子器件研究的必要工具之一。设备的购置将对北京大学在集成纳米光子学相关领域的发展发挥重要作用。
上述设备的购置由物理学院沈波教授申请,经费来源为“统筹支持一流大学和一流学科建设经费”和“国家重点实验室设备更新费”。仪器设备购置经费已落实,运行经费有保障,专家组一致同意通过上述设备的可行性论证。设备购置后将作为MOCVD的配套设备服务校内外科研工作,预计年使用机时为4500小时左右。可行性论证专家组由中科院半导体所王军喜研究员,清华大学电子系汪莱研究员,北京大学物理学院徐福军副教授、王茂俊副教授、杨志坚高级工程师组成。