2017年11月03日,化学学院拟购的“激光直写仪”和“原子层沉积系统”购置可行性论证会在化学院A211举行,由化学学院副院长张锦教授主持。
“激光直写仪”是一类不采用光刻掩膜版的光刻技术,即采用电子束直接在硅片上制作出需要的图形的设备。目前校内同类设备使用机时饱满。专家组根据申请人课题组研究需要,认为拟购设备能够同时实现0.6μm加工精度、3D图形制作、高通量电路制作,满足申请人开展有机电致发光二极管材料、有机太阳能电池材料、有机场效应晶体管和有机热电材料的器件化及构效关系的研究。该设备的购置对北京大学有机材料的研究和发展具有重要的意义。
“原子层沉积系统”是通过将气相物质脉冲交替的送入反应器,利用化学吸附方式在沉积衬底上形成沉积膜的一种设备,该设备可将物质以单原子膜形式逐层的镀在衬底表面。目前校内同类设备使用机时饱满。专家组根据申请人课题组研究需要,认为拟购设备可以在90℃低温条件下生长高质量氧化铝介质,生长薄膜均匀性高、缺陷数量少、可重复性高,满足申请人对材料的表面形貌及材料的相分离情况进行细致表征,明确构效关系的研究需求。该仪器的购置将对北京大学有机化学和材料科学等相关领域的交叉与发展起到重要作用。
专家组一致同意通过上述设备的可行性论证,设备的购置经费来源为“教育教改拔尖人才培养经费”和“国家自然科学基金委重大项目经费”,由化学学院裴坚教授申请。仪器设备购置经费已落实,运行经费有保障。设备购置后将用于服务校内外科研工作,预计年开放共享机时分别为240小时、500小时左右。可行性论证专家组由中国人民大学化学系王亚培教授,中国科学院化学研究所王朝晖研究员,北京大学化学与分子工程学院张锦教授、马玉国教授、赵达慧教授组成。