2017年6月30日，物理学院拟购的“电子束蒸发镀膜仪”购置可行性论证会在勺园五乙305会议室召开，会议由实验室与设备管理部副部长周勇义主持。

  “电子束蒸发镀膜仪”是一种通过阴极发射高能电子束将靶材上的原子轰击出来，原子在通过一段真空后到达基底表面并均匀附着在待镀膜样品表面的设备。目前校内同类设备使用率高，机时饱满。专家组根据申请人课题组研究需要，认为拟购设备不但可以完成常规低熔点金属的蒸镀，还可以蒸镀难熔金属和非金属材料及有机材料，满足申请人实验中对高精度、高质量多层薄膜沉积的需求，是低维功能微纳器件制备的基本设备之一。该设备的购置将促进北京大学微纳器件制备和研究生培养需求。

  专家组一致同意通过上述设备的可行性论证，设备的购置经费来源为“统筹支持一流大学和一流学科建设经费”，由物理学院戴伦教授申请。仪器设备购置经费已落实，运行经费有保障。设备购置后将用于服务校内外科研工作，预计年开放共享机时为1000小时左右。可行性论证专家组由清华大学物理系纳米中心李群庆研究员、交叉信息研究院宋祎璞副研究员，中科院半导体所谢亮研究员，北京大学信息科学技术学院岳双林高级工程师、物理学院量子中心罗强高级工程师组成。