2012年4月25日，信息学院拟购的“动态MEMS器件光学测量仪”购置论证会在实验室与设备管理部会议室召开，会议由实验室与设备管理部副部长刘克新教授主持。

“动态MEMS器件光学测量仪”由信息学院张大成教授申请，经费来源为国家973项目经费。MEMS是微机电系统（Micro-Electro-Mechanical Systems）的英文缩写。动态MEMS器件光学测量仪的技术基础是基于白光干涉形貌复原，是高效提取微结构形貌和力学参数的重要仪器，能够实现11 Hz-2.4 MHz下微结构的纳米级精度（垂直方向）的动态测量，是开展微结构动态特性相关研究的重要实验手段。目前校内尚无此类仪器。专家组根据申请人开展MEMS电容式器件规模制造技术基础研究的需要，认为该仪器是微结构力学特性分析的关键设备之一。该设备对提高北京大学在微纳加工领域的研究水平、带动我国MEMS技术的发展方面有重要意义。

该仪器设备购置经费已落实，运行经费有保障，专家组一致同意通过“动态MEMS器件光学测量仪”的可行性论证。设备购置后将在满足申请人课题组科研需要的同时对校内外开放使用。可行性论证专家组由中科院电子学研究所祁志美研究员、清华大学精密仪器与机械学系叶雄英教授、北京大学工学院曹安源研究员、化学学院李彦教授、信息学院许胜勇教授组成。