我校信息科学技术学院购置的美国BRUKER NANO INC. 公司生产的“动态MEMS器件光学测量系统”于2013年3月11日到货。该设备由“973”项目经费支持，将用于开展MEMS电容式器件规模制造技术基础的研究。拟安装在微纳电子大厦工艺实验室，责任教授为张大成教授。

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信息学院“动态MEMS器件光学测量系统”通过可行性论证

2012年5月招标领导小组邮件审核批准“单一来源”方式采购。