我校物理学院购置的英国AIXTRON LTD公司生产的“高温金属有机物化学气相沉积系统”于2013年3月28日到货。该设备由国家重点实验室设备经费支持,将用于宽禁带半导体的研究,是高Al组分AlGaN材料研究的关键设备。拟安装在物理大楼北楼472室,责任教授为沈波教授。
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两台“化学气相沉积系统”通过可行性论证
2012年3月招标领导小组邮件审核批准“单一来源”方式采购。