2013年9月17日，物理学院拟购的“磁控溅射系统”和“原子力显微镜”两台设备的购置论证会在我部会议室召开，会议由实验室与设备管理部副部长刘克新教授主持。

         “磁控溅射系统”是用于高熔点材料、绝缘介质膜生长的关键设备，具有成膜质量高，与衬底附着性好等优点。其原理是在二级溅射中增加一个平行于靶表面的封闭磁场，借助于靶表面上形成的正交电磁场，把二次电子束缚在靶表面特定区域来增强电离效率，从而增加离子密度和能量，实现高速溅射的过程。拟购的“磁控溅射系统”各项性能指标先进，满足申请人的科研需要。目前校内同类设备使用效率较高，专用性较强。专家组根据申请人课题组进行基于纳米器件材料加工和测量的研究需要，认为该设备是进行微纳器件加工的关键设备之一。

         “原子力显微镜”是扫描探针显微镜的一种，它能够在大气以及液体环境中准确地观测样品表面微区的三维形貌，可以在高分辨率成像的同时对样品表面物理化学特性进行表征和研究。其原理是通过检测待测样品表面和一个微型力敏感元件之间的极微弱的原子间相互作用力来研究物质的表面结构及性质。拟购的“原子力显微镜”各项性能指标先进，满足申请人的科研需要。目前校内同类设备使用率较高，无法满足申请人长时间测量的需求。专家组根据申请人开展大型材料生长和运输测量研究的需要，认为该设备是申请人课题组进行纳米级别样品三维结构成像的重要设备。

         上述两套设备的购置由物理学院量子材料科学中心危健研究员申请，经费来源是985三期设备费。设备运行管理的人员、场地和经费有保障，专家组一致同意通过可行性论证。设备购置后将在满足申请人课题组科研需要的同时对校内外开放使用。可行性论证专家组由中科院物理所孙继荣研究员、金魁研究员，北京大学物理学院王福仁教授、吴孝松研究员和李悦高级工程师组成。