我校信息学院购置的德国FINETECH GMBH & CO. KG公司生产的“倒装芯片键合机”于2013年11月5日到货。该设备由国防973项目经费支持,将用于实现多种材料、不同尺寸芯片的键合,用以研究三维集成工艺对微纳米器件的影响。拟安装在微电子大厦地下一层的微电子工艺试验室,责任教授为金玉丰教授。
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信息学院三台设备通过可行性论证
2013年3月设备部批准免招标采购