2013年12月9日，信息学院拟购的“6寸手动大功率载片探针测试平台”和“功率器件分析仪”两台设备的购置可行性论证会在微纳电子大厦205会议室举行。会议由信息学院微电子系主任吴文刚教授主持，设备部设备管理办公室相关工作人员参加了会议。

         探针台是一类利用金属微探针接触器件特定测试点并通过配套的半导体参数测试仪施加所需的电压或电流，以达到测试分析器件相应电特性的仪器，广泛应用于半导体器件和工艺相关研究领域。拟购的“6寸手动大功率载片探针测试平台”能够提供高达3000V的三轴、10000V的同轴输入电压测量能力以及100A脉冲电流测量能力，同时配备防震隔离和EMI电磁辐射屏蔽。该设备各项功能指标先进，满足申请人的科研需要。目前校内同类设备无法满足申请人的技术需求。专家组根据申请人课题组开展GaN高压功率开关器件研究的需要，认为该设备是对半导体器件进行高电压、大电流在片测试的必要设备之一。

         “功率器件分析仪”是通过对半导体功率器件的耐压特性、大栅宽功率器件的输出特性和电容-电压特性进行测量，从而表征半导体功率器件性能的测量仪器，广泛应用于半导体器件、微电子器件、光电器件、纳米器件等的电学测试中。拟购的“功率器件分析仪”拥有支持强电流和高电压的测试模块以及多频率电容测试单元，其内置的互锁机制可以确保在器件测试的过程中安全地应用高电压和强电流。该设备各项功能指标先进，满足申请人的科研需要。目前校内同类设备无法满足申请人的技术需求。专家组根据申请人课题组开展GaN功率器件研制的需要，认为该设备是对功率器件进行高电压和大电流测试的关键设备之一，将对北京大学在GaN基电子器件领域的研究产生积极的推动作用。

         上述两套设备的购置由信息学院王茂俊副教授申请购置，经费来源为“重大专项”经费。设备运行管理的人员、场地和经费有保障，专家组一致同意通过上述两台设备的可行性论证。两台设备购置后将在满足申请人课题组科研需要的同时对校内外开放使用，预计对申请人课题组之外的年开放共享机时均为300小时左右。可行性论证专家组由国网智能电网研究院陆敏研究员，中科院半导体所卢励武研究员，北京大学物理学院胡晓东教授，信息学院傅云义教授和杨振川教授组成。