我校信息学院购置的韩国AM TECHNOLOGY CO., LTD.公司生产的“精密单面抛光机”及“自动减薄机”于2014年1月24日到货。该批设备由国防“973”项目经费支持，“精密单面抛光机”用于晶圆有源面及背面的平坦化，为后续光刻、薄膜沉积和刻蚀等工艺奠定基础；“自动减薄机”用于多种半导体和金属材料的晶圆减薄及线厚度测量。拟安装在微电子大厦地下一层的微电子工艺实验室，责任教授为金玉丰教授。

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