我校信息科学技术学院微电子学研究所购置的英国 NANOBEAM Ltd. 公司生产的第二套 “电子束光刻机”于 2014 年 7 月 11 日到货。该设备由“ 985 ”三期经费 支持，将 主要用于纳米集成电路技术、纳机电系统技术和纳结构相关技术的研究 。拟安装在微纳电子大厦 101 室，责任教授为张大成教授。

相关信息：

2008 年 3 月 7 日信息科学技术学院“电子束光刻机”通过可行性论证

2009 年 3 月 6 日北京大学微电子学研究所“电子束光刻机”招标工作完成