2014年10月14日，信息科学技术学院微纳加工技术国家级重点实验室拟购的“气相分子沉积系统”购置可行性论证会在微纳电子大厦350会议室召开。会议由微纳加工技术国家级重点实验室主任张大成教授主持，设备部设备管理办公室相关工作人员参加了会议。

   “气相分子沉积系统”由信息学院李志宏教授申请购置，经费来源为国家自然科学基金重大研究计划集成项目。气相分子沉积系统是研究微纳跨尺度制造技术的有力工具，广泛应用于半导体集成电路中微机电系统、微型传感器、微流体等器件的加工中。拟购的“气相分子沉积系统”集成了原子层沉积、化学气相沉积和材料表面修饰等功能。它可以利用高纯度(>99%)的分子蒸汽，于低温(<85℃)真空(<10Pa)的环境下，在数十分钟内，将自组装分子在芯片表面沉积成均匀的薄膜，且结果具有高度的重复性。相比于将样品浸泡于溶液中进行表面修饰的方法，该气相分子沉积系统可以完全排除毛细现象的作用, 达到高质量的沉积薄膜结果，避免了当芯片表面具有微结构型貌时，再经溶液浸泡，因毛细现象而导致的薄膜沉积不完整。目前我校同类设备无法满足申请人的技术需求。专家组根据申请人课题组在开展宽禁带半导体研究方面的需要，认为该是在微流体芯片表面实现高质量薄膜沉积的必要设备之一，其购置将丰富我校微米纳米加工技术国家级重点实验室的工艺能力，同时也有望支持我校生命学院、化学学院、物理学院、医学部、分子医学所、生物动态光学成像中心等学科相关研究工作的开展。

该仪器设备购置经费已落实，运行管理的经费、人员、场地有保障，专家组一致同意通过“气相分子沉积系统”的可行性论证。设备购置后将在满足申请人课题组科研需要的同时对校内外开放使用，预计对申请人课题组之外的年开放共享机时为500小时左右。可行性论证专家组由清华大学精密仪器系叶雄英教授，中科院物理所李俊杰研究员，北京大学工学院熊春阳教授，信息学院张大成教授、杨振川教授组成。