我校信息科学技术学院购置的美国CASCADE MICROTECH公司生产的“6寸手动晶圆测试分析型探针机台”于2014年12月31日到货。该设备由“985”项目三期经费支持,拟用于开展碳基集成电路的研究,是对碳纳米管器件和集成电路相关物理特性进行高精度测量的关键设备。拟安装在理科2号楼微纳加工实验室,责任教授为彭练矛教授。
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