我校信息科学技术学院微纳加工技术国家级重点实验室购置的美国IST 公司的“气相分子沉积系统”于2015年6月16日到货。该设备由“国家自然科学基金重大研究计划集成项目”经费支持，将用于宽禁带半导体的研究，是在微流体芯片表面实现高质量薄膜沉积的必要设备。拟安装在微纳电子大厦一层工艺实验室，责任教授为李志宏。

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2014年10月14日信息学院“气相分子沉积系统”通过可行性论证

2014年3月4日由北京中教仪国际招标代理有限公司进行了公开招标