2015年8月27日，信息学院拟购的“离子刻蚀机”可行性论证会在理科2号2135会议室召开，会议由信息学院科研办公室孙琰主任主持。拟购设备由信息学院陈清教授申请，经费来源为2015年度学科建设经费。

 “离子刻蚀机”是进行微米纳米器件制备的必要设备，该设备在射频电源驱动下生成等离子体，等离子体随后与被刻蚀的材料发生化学反应，生成的挥发性化合物被气流（真空系统）带走，而衬底材料由于被光刻胶（介质掩膜）所覆盖则没有产生上述化学反应，从而实现器件的各向异性。拟购设备各项指标先进，可满足申请人的科研需要。专家组根据申请人课题组正在承担的环栅半导体纳米线超高频器件的基础研究的科研需要，认为该设备是进行金属刻蚀和非硅非碳基材料刻蚀的必要设备之一，将对北京大学纳米器件相关的各类课题研究具有重要的推动意义。

    上述仪器设备购置经费已落实，运行经费有保障，专家组一致同意通过“离子刻蚀机”的可行性论证。设备购置后将在满足申请人课题组科研需要的同时对校内外开放共享，预计年开放共享机时为380小时。可行性论证专家组由清华大学物理系纳米中心李群庆教授，中科院物理所顾长志研究员，中科院微电子所夏洋研究员，北京大学信息学院张大成教授、物理学院戴伦教授组成。