我校信息学院“反应离子刻蚀机”招标采购项目(2015[040])评标会于2015年9月22日上午在实验室与设备管理部会议室召开，会议由周勇义副部长主持。本项目共有3家公司参与投标，评标委员会对投标商所投方案的价格、技术指标、商务应答等进行了认真的审核和讨论。最终经专家评分，确认SENTECH Instruments GmbH所投产品中标。该项目由学科建设经费和自筹经费共同支持，拟购的设备将用于进行微纳米器件研究所需的金属钨等金属、氧化物和硫化物等各种化合物的刻蚀。