2015年10月20日，物理学院拟购的“电子束蒸发镀膜系统”购置可行性论证会在物理学院西楼206会议室召开，会议由物理学院副院长李焱教授主持。

“电子束蒸发镀膜系统”的购置由物理学院俞大鹏教授申请，经费来源为统筹支持一流大学和一流学科建设经费，物理学院公共平台建设与维护费及大型仪器测试经费。拟购的“电子束蒸发镀膜系统”是进行微纳加工特别是高质量金属薄膜蒸镀的重要设备，通过阴极发射高能电子束将靶材上的原子轰击出来，原子在通过一段真空后到达基底表面并均匀附着在待镀膜样品的表面。该设备具有自动监控镀膜厚度和速率，自动控制蒸发速率及挡板开、关，可在电子枪电源和膜厚仪之间建立实时反馈并自动在线调节等特点，满足实验室对高精度、高质量薄膜沉积的需求，是制作纳米器件的必备设备之一。拟购的“电子束蒸发镀膜系统”各项指标先进，满足申请人的科研需要。专家组根据申请人课题组正在承担的一维半导体纳米线和超薄二维层状材料的研究需要，认为该设备是进行微纳加工的必要设备之一，将对北京大学纳米器件相关的各类课题研究具有重要的推动意义。

该仪器设备购置经费已落实，运行经费有保障，专家组一致同意通过“电子束蒸发镀膜系统”的可行性论证。设备购置后将在满足申请人课题组科研需要的同时对校内外开放共享，预计年开放共享机时为1000小时左右。可行性论证专家组由北京科技大学材料科学与工程学院常永勤教授，清华大学交叉信息研究院宋祎璞副研究员，北京大学信息学院邢英杰副教授、化学学院徐东升教授、物理学院徐军教授级高级工程师组成。