2015年10月21日，化学学院拟购的“等离子体增强化学气相沉积系统”购置可行性论证会在勺园5甲楼305会议室召开，会议由实验室与设备管理部副部长刘克新教授主持。

“等离子体增强化学气相沉积系统”的购置由化学学院刘忠范院士申请，经费来源为“北京市科技计划课题”和“统筹支持一流大学和一流学科建设经费”。拟购的“等离子体增强化学气相沉积系统”是一种用来在较低温度下生长薄膜等纳米材料的设备，利用微波或射频使气体电离，在局部形成等离子体，而等离子体化学活性很强，很容易发生反应，在基底上沉积出所需要的薄膜材料。目前校内同类设备机时饱满，无法满足申请人需求。拟购设备各项指标先进，满足申请人的科研需要，专家组根据申请人课题组正在承担10英寸超级石墨烯玻璃、大面积柔性导电薄膜、大面积石墨烯等二维材料的研究需要，认为该设备是进行微纳加工的必要设备之一，将对北京大学纳米器件相关的各类课题研究具有重要的推动意义。

该仪器设备购置经费已落实，运行经费有保障，专家组一致同意通过“等离子体增强化学气相沉积系统”的可行性论证。设备购置后将在满足申请人课题组科研需要的同时对校内外开放共享，预计年开放共享机时为500小时左右。可行性论证专家组由国家纳米科学中心戴庆研究员，清华大学化学系焦丽颖副教授，北京大学化学学院张锦教授、张艳锋研究员、信息学院王漪教授组成。