2015年9月29日，物理学院拟购的“离子刻蚀系统”购置可行性论证会在物理学院西楼206会议室召开，会议由物理学院副院长李焱教授主持。

拟购设备由物理学院俞大鹏教授申请，经费来源为“科技部纳米重大科学研究项目”经费。 “离子刻蚀系统”是进行微米纳米器件制备的必要设备，该设备在射频电源驱动下生成等离子体，等离子体随后与被刻蚀的材料发生化学反应，生成的挥发性化合物被气流（真空系统）带走，而衬底材料由于被光刻胶（介质掩膜）所覆盖则没有产生上述化学反应，从而实现器件的各向异性。拟购设备各项指标先进，可满足申请人的科研需要。专家组根据申请人课题组正在承担的纳米重大科学研究项目研究需要，认为该设备是实现纳米线任意长度截取，电极与纳米线横界面的直接接触，纳米线周期性串联，以及对承载纳米线的衬底进行三维结构加工必要设备之一，将对北京大学纳米器件相关的各类课题研究具有重要的推动意义。

上述仪器设备购置经费已落实，运行经费有保障，专家组一致同意通过“离子刻蚀系统”的可行性论证。设备购置后将在满足申请人课题组科研需要的同时对校内外开放共享，预计年开放共享机时为1000小时。可行性论证专家组由北京科技大学材料科学与工程学院常永勤教授，清华大学交叉信息研究院宋祎璞副研究员，北京大学物理学院徐军教授级高级工程师、赵清副教授、北京大学信息学院邢英杰副教授组成。