2015年9月18日，信息学院拟购的“化学机械抛光系统”，“多层膜厚仪”和“精密砂轮划片机”等三台设备的购置可行性论证会在勺园5甲楼305会议室召开，会议由实验室与设备管理部周勇义副部长主持。三台设备的购置由信息学院黎明研究员，罗葵高级工程师，刘鹏工程师申请，经费来源为“统筹支持一流大学和一流学科建设经费”。

 “化学机械抛光系统”利用化学机械手段对三维结构的FinFET等新结构器件进行抛光，以确保淀积的介质层保持所需的平坦程度及保形性，该设备可以加工多种不同材料的衬底，不同尺寸的晶圆片，并且具有优异的可控性、均匀性好，重复性好，研磨精度高等优点。

“多层膜厚仪”是一种利用光谱分辨率可达0.3nm~2nm的CCD（1024像素）阵列探测微纳米器件镀膜的仪器设备，配合专用软件采集并测量薄膜厚度，精度可达0.3埃。该设备是判定微纳加工光刻、氧化扩散、刻蚀、PVD等工艺质量及工艺结果的必备工具，也是芯片加工和工艺分析的必要设备。

“精密砂轮划片机”是一种利用高速旋转金刚石砂轮划切已经加工完成的硅片、石英、陶瓷、III-V族衬底等不同材料的基片，将基片上的功能单元分割成独立芯片，以便后续封装或测试使用的切割设备，是微纳加工流程中的一项最基础仪器，也是芯片加工测试的必要工艺手段。

拟购的三台设备各项指标先进，可满足申请人的科研需要。专家组根据申请人课题组正在承担的微纳米材料加工需要，认为上述三台设备是进行微纳米器件制备的必要设备之一，将对北京大学微米纳米工艺加工实验室的加工、制备能力有极大的提升。

上述仪器设备购置经费已落实，运行经费有保障，专家组一致同意通过“精密砂轮划片机”，“化学机械抛光系统”和“多层膜厚仪”的可行性论证。设备购置后将在满足申请人课题组科研需要的同时对校内外开放共享，预计年开放共享机时分别为1100、1000、1000小时左右。可行性论证专家组由清华大学物理系纳米中心李群庆教授、仪器与科学研究所叶雄英教授，中科院半导体所季安教授级高级工程师，北京宇翔电子有限公司刘喜财高级技师，北京大学信息学院郝一龙教授组成。