我校信息科学技术学院购置的德国 SUSS MICROTEC 公司生产的“光刻机”于 2016 年 10 月 25 日到货。该设备由教育部“修购基金”经费支持，将用于微纳米材料及微电子器件加工工艺中高精度的光刻与套刻。拟安装在理科二号楼 2726 室，责任教授为韩德栋副教授。

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修购项目，待候补相关论证信息

2016 年 5 月 5 日 北京大学信息学院光刻机招标采购项目（2016[012]）完成