2018年4月13日,信息学院拟购的“精密半自动变温探针系统”购置可行性论证会在微纳电子大厦308会议室召开,由信息学院副院长谢冰教授主持。
拟购的“精密半自动变温探针系统”是一套用于准确表征器件电学输运特性的系统,该系统可以进行常温、低温以及变温测量,从而实现器件在不同环境下工作特性的表征。目前校内同类设备使用机时饱满,无法满足申请人的需求。专家组根据申请人课题组研究需要,认为拟购设备支持室温到300度温度变化,满足申请人晶圆级器件测试需求,该设备是开展氮化物电子器件器件物理和器件工艺研究的重要实验手段之一。设备的购置将对北京大学半导体材料和器件研究具有积极的推动作用。
专家组一致同意通过上述设备的可行性论证,设备的购置经费来源为“国家重点研发计划经费”,由信息学院王茂俊副教授申请购置。仪器设备购置经费已落实,运行经费有保障。设备购置后将用于服务校内外科研工作,预计年开放共享机时为200小时左右。可行性论证专家组由中科院半导体研究所张峰研究员,中科院微电子研究所黄森研究员,北京大学信息科学技术学院郝一龙教授、吴文刚教授,物理学院唐宁副教授组成。