我校信息科学技术学院购置的德国SENTECH 公司的“感应耦合等离子体增强化学气相沉积系统”于2018年6月1日到货。该设备由“建设世界一流大学（学科）和特色发展引导专项”经费支持，将用于纳米器件的钝化工艺开发及介质膜的制备。拟安装理科二号楼微纳加工实验室，责任教授为彭练矛教授。

　　
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2016年1月2日微纳加工实验室“磁控溅射仪”等三台设备通过可行性论证【16-（037-039）】

2017年12月23日由东方国际招标有限责任公司进行了公开招标