2018年6月12日,物理学院拟购的“高温分子束外延系统”购置可行性论证会在勺园5乙楼305会议室召开。
拟购的“高温分子束外延系统”是一种在晶体基片上生长高质量的晶体薄膜的设备。在超高真空条件下,装有各种所需组分的炉子加热产生蒸气,经小孔准直后形成分子束或原子束,直接喷射到适当温度的单晶基片上,同时控制分子束对衬底扫描,就可使分子或原子按晶体排列一层层地“长”在基片上形成薄膜。目前校内同类设备使用机时饱满。专家组根据申请人课题组研究需要,认为拟购设备能够满足申请人在深紫外半导体材料和器件制备领域的材料外延生长需求,是进一步探索深紫外半导体材料特性和研制高效率深紫外光电子器件的关键设备之一。设备的购置将对北京大学宽禁带半导体科学的发展起到积极的推动作用。
专家组一致同意通过上述设备的可行性论证,设备的购置经费来源为“国家重点实验室经费”,由物理学院王新强教授申请购置。仪器设备购置经费已落实,运行经费有保障。设备购置后将用于AlGaN基深紫外光电材料的外延生长工作,预计年使用机时为3000小时左右。可行性论证专家组由长春光学精密机械与物理研究所黎大兵研究员,中科院半导体研究所王利军研究员,北京大学物理学院韩伟研究员、施可斌研究员、刘运全教授组成。