2018年9月28日,工学院拟购的“电子束曝光系统”购置可行性论证会在工学院1号楼212会议室召开,由工学院党委书记孙智利主持。
拟购的“电子束曝光系统”是一种利用电子束对样品进行纳米级的书写或者蚀刻的系统。目前校内同类设备使用率高,机时饱满。专家组根据申请人课题组研究需要,认为拟购设备在曝光精度、可靠性和成品率方面满足申请人新型二维材料的可控制备、结构改性和光电功能器件性质的研究需求。该设备的购置将对北京大学低维材料的可控合成和纳电子学器件研究工作具有推动作用。
专家组一致同意通过上述设备的可行性论证,设备的购置经费来源为“科研经费”,由工学院刘磊研究员申请购置。仪器设备购置经费已落实,运行经费有保障。设备购置后将用于服务校内外科研工作,预计年开放共享机时为200小时左右。可行性论证专家组由中国科学院物理研究所程智刚研究员、黄元副研究员,北京大学物理学院路建明研究员,工学院雷霆研究员、张青研究员组成。