2018年10月11日，物理学院拟购的“超高真空电子束蒸发镀膜系统”购置可行性论证会在勺园5乙楼305会议室召开。

　　拟购的“超高真空电子束蒸发镀膜系统”是一种在真空状态下利用电子束轰击靶材，使用料蒸发并在样品表面上沉积成膜的系统。目前校内同类设备使用率高，机时饱满。专家组根据申请人课题组研究需要，认为申请人团队目前正在开展低维体系量子输运研究，在低维微纳尺度结构加工过程中，采用电子束蒸发镀膜方式生长电极是实验工艺中非常重要的一个环节，尤其是蒸镀Al、Nb等超导材料时，对镀膜系统的真空度要求较高。拟购设备具有3×10-9Torr以上的极限真空度，满足申请人团队量子计算器件制备的研究需求，是量子计算必要的硬件支撑。设备的购置将对北京大学量子材料科学的研究具有推动作用。

　　专家组一致同意通过上述设备的可行性论证，设备的购置经费来源为“统筹支持一流大学与一流学科经费”，由物理学院杜瑞瑞教授申请购置。仪器设备购置经费已落实，运行经费有保障。设备购置后将用于校内外教学与科研工作，预计年开放机时大于600小时。可行性论证专家组由清华大学理学院马旭村教授，中科院物理所屈凡明研究员、程智刚研究员，中科院半导体所张弛副研究员，北京大学信息学院岳双林高级工程师组成。