我校信息科学技术学院购置的芬兰BENEQ OY公司的“等离子体增强原子层沉积系统”于2018年12月21日到货。该批设备由教育部“修购基金”经费支持，将用于纳米器件的高质量栅介质层的制备要求。拟安装理科二号楼微纳加工实验室，责任教授为彭练矛教授。

　　
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2016年6月2日微纳加工实验室“磁控溅射仪”等三台设备通过可行性论证【16-（037-039）】

2018年5月3日由北京中教仪国际招标代理有限公司进行了公开招标