2018年11月20日，化学学院拟购的“喷淋式进样热壁化学气相沉积生长系统”购置可行性论证会在化学学院A201会议室举行，由化学学院副院长周江主持。

　　拟购的“喷淋式进样热壁化学气相沉积生长系统”是一种利用含有薄膜元素的一种或几种气相化合物或单质、在衬底表面上进行化学反应生成薄膜的系统。该系统在传统的热壁沉积系统的基础上，使用喷淋的方式引入碳源，使气相的碳源分子直接喷射到基底上，从而提高有效的碳源浓度。目前校内暂无同类设备。专家组根据申请人研究需求，认为申请人正在开展碳纳米管水平阵列生长工作，拟购设备采用垂直喷淋的方式引入碳源，结合气体预混系统，提高基底表面碳源浓度以及均匀性，从而提高碳纳米管水平阵列的密度，满足申请人高密度碳纳米管水平阵列的生长研究的需求。该定制仪器的购置将对北京大学在高密度碳纳米管水平阵列生长的相关领域的发展发挥重要作用。

　　专家组一致同意通过上述设备的可行性论证，设备的购置经费来源为“科技部国家重点研发计划”经费，由化学学院张锦教授申请购置。仪器设备购置经费已落实，运行经费有保障。设备购置后将用于碳管集成电路制备，预计年使用机时约为50小时。可行性论证专家组由国家纳米科学中心杨延莲研究员、谢黎明研究员，清华大学化学系张莹莹副教授，北京大学化学学院童廉明副研究员、王路达特聘研究员组成。