2019年1月15日，信息学院拟购的“等离子体增强原子层沉积设备”购置可行性论证会在勺园5乙楼305会议室举行，由实验室与设备管理部副部长黄凯主持。

　　拟购的“等离子体增强原子层沉积设备”是一种单片/多片薄膜沉积系统，该系统扩展了普通原子层沉积系统对前驱体源的选择范围、提高薄膜沉积速率和降低沉积温度，一般用于对温度敏感材料和柔性衬底上薄膜的沉积。目前校内同类设备使用机时饱满，无法满足申请人的需求。专家组根据申请人研究需求，认为拟购设备具有厚度精确可控和三元薄膜材料生长等功能，满足申请人各种高质量的纳米薄膜与纳米结构研究需求。仪器的购置将对北京大学新结构低功耗器件的研究发挥关键性作用。

　　专家组一致同意通过上述设备的可行性论证，设备购置经费已落实，设备的购置经费来源为“自然基金”，由信息学院黄芊芊研究员申请购置。仪器设备运行经费有保障。设备购置后将用于新结构低功耗器件、负电容场效应晶体管和神经计算新型器件等等研究，预计年使用机时约为1200小时。可行性论证专家组由中科院微电子所夏洋研究员，清华大学微电子学研究所伍晓明副研究员，中科院半导体所艾玉杰副研究员，北京大学信息学院王兆江教授级高级工程师、贺明研究员组成。