2018年10月8日，信息学院拟购的“化学机械抛光机”购置可行性论证会在勺园5乙楼305会议室召开，由实验室与设备管理部副部长周勇义主持。

　　拟购的“化学机械抛光机”是一种对多种不同材料的衬底，不同尺寸的晶圆片进行抛光的设备，该设备采用气囊式晶片装夹及加压方式，可以对工艺数据进行实时监控。目前校内同类设备使用机时饱满，无法满足申请人的需求。专家组根据申请人所在单位的研究需要，认为申请人所在的实验室主要从事纳米尺度CMOS器件相关的研究工作，为了获得纳米尺度的新型三维器件，降低对后续的光刻工艺的畸变影响，确保器件的保型性完好，需要实现高选择比的金属平坦化。拟购设备能够实现纳米级别的研磨精度，重复性和均匀性好，性能可靠，满足申请人搭建先进的纳米尺度CMOS器件工艺平台的需求，设备的购置将对北京大学半导体新器件研究具有推动作用。

　　专家组一致同意通过上述设备的可行性论证，设备的购置经费来源均为“统筹支持一流大学与一流学科经费”，由信息学院黎明研究员申请购置。仪器设备购置经费已落实，运行经费有保障。设备购置后将用于新工艺，新材料，新结构器件等研究工作，预计年使用机时为1250小时左右，可行性论证专家组由中科院半导体所王晓峰研究员，中科院微电子所殷华湘研究员，中科院物理所张建军研究员，北京大学信学院王兆江高级工程师、贺明研究员组成。