2019年4月2日，信息学院拟购的“超高真空充排气台”、“多用途亚微米贴片机”、“快速退火炉”、“任意波形发生器”、“三维快速并行激光直写仪”和“光波元件分析仪”购置可行性论证会在信息学院2420会议室举行，由电子学系副主任郭弘教授主持。

　　拟购的“超高真空充排气台”是一种用于器件的真空排气和高温烘烤的设备，主要由真空系统、充气系统、加热系统和电控系统组成，具有加热烘烤、多路自动充气等功能。目前校内同类设备使用机时饱满，无法满足申请人需要。专家组经讨论认为拟购设备具有优于2 x 10-7Pa真空度、双工位同时工作、共4路充气管道、自动烘烤去气、充气排气、批量制作原子气室等功能，满足申请人所在实验室在高灵敏度原子传感器领域的实验要求。仪器的购置将对北京大学在量子电子学相关领域的发展发挥重要作用。

　　拟购的“多用途亚微米贴片机”是用于光子芯片集成的设备，主要包括正装、倒装芯片键合，VCSEL，PD，镜头组件封装，晶圆级封装等功能。目前校内暂无同类设备，专家组经讨论认为拟购设备可以完成0.5mm的精确定位、倒装芯片、正装芯片以及各种高端封装，满足申请人在光电子芯片相关领域研究的需求。仪器的购置将对北京大学光电子芯片集成、封装的研究发挥关键性作用。

　　拟购的“快速退火炉”是一种在真空状态下对衬底基片分区快速加热处理的设备，基片经过快速升温、恒温、降温过程后，可实现材料的改性优化。该设备主要用于半导体工艺制作过程中的金属合金、结晶化、热氧化、热退火等工艺。目前校内同类设备使用机时饱满，无法满足申请人需要。专家组经讨论认为申请人所在的区域光纤通信网与新型光通信系统国家重点实验室一直开展光电子芯片的实验研究工作，其中涉及到各种介质薄膜材料（如氧化铟锡，氧化硅，氮化硅等）和金属层（如金、镍、铬等）的生长。退火几乎是薄膜生长后不可避免的工艺。在一定气氛中快速退火后介质薄膜的晶体质量会提高，金属薄膜与介质的粘附性会增强。拟购设备可以完成对光电子芯片的快速退火，满足申请人在光电子芯片研究的需求。仪器的购置将对北京大学光电子芯片的研究发挥关键性作用。

　　拟购的“任意波形发生器”是一种可以生成具有明确数学关系的任意波形、超短的精确脉冲和超宽带线性调频信号的设备。目前校内同类设备使用机时饱满。专家组根据申请人课题组研究需要，认为拟购设备具有单通道120GS/s采用率和45GHz模拟带宽，单模块可以同时提供4个通道。满足申请人所在的国家重点实验室在超高速光通信领域的实验要求。设备的购置将进一步提升科研的深度，对北京大学超高速光通信研究领域起到推进作用。

　　拟购的“三维快速并行激光直写仪”是一套由飞秒激光器、显微镜、自动化界面探测器、超高分辨率精密三维压电陶瓷台以及相应的图形化界面操作软件组成的系统。该系统利用飞秒激光对微纳米材料进行精密加工，制备三维立体亚微米器件，主要应用于微光学、光子学、光电子、材料科学等研究领域。目前校内同类设备使用机时饱满。专家组根据申请人课题组研究需要，认为拟购设备具有三维快速并行激光直写技术，可直接在透明材料内部写入各种类型波导结构，除了满足下一代新型多芯少模传输技术对无源光纤波导器件加工的需求外，还可支持所在单位光印刷板、超表面材料和结构等科研工作，该仪器的购置将对北京大学相关研究工作发挥关键性作用。

　　拟购的“光波元件分析仪”将与矢量网络分析仪配套使用，该分析仪可在网络分析仪基础上增加一个光电测试底座，实现分析、测试光电/电光元器件的幅频响应特性等功能。专家组根据申请人课题组研究需要，认为拟购设备是对原有矢量网络分析仪的升级，可以完成67GHz范围内的光电-电光元器件的S参数测量与分析等功能升级。该设备是高频、宽带光通信系统和光电子元器件等实验研究的关键设备，将在下一代光通信、光网络以及集成光电子的研究方面发挥重要作用。

　　专家组一致同意通过上述设备的可行性论证，设备购置经费已落实，设备的购置经费来源均为“国家重点实验室设备费”，由信息学院陈章渊教授申请购置。仪器设备运行经费有保障。“超高真空充排气台”将用于制作超高灵敏度原子气室，展开原子传感器、光与原子相互作用、等离子体物理等方面的深入研究，预计年使用机时为3600小时；“多用途亚微米贴片机”、“快速退火炉”、“任意波形发生器”、“三维快速并行激光直写仪”和“光波元件分析仪”将用于校内外相关学科教学科研工作，预计年开放共享机时分别为100、100、50、200和100小时左右。可行性论证专家组由北京理工大学前沿交叉科学研究院董毅教授，北京邮电大学电子工程学院余建国教授，北京交通大学光波技术研究所延凤平教授，清华大学化学系薛晓晓特聘研究员，北京大学物理学院肖立新教授组成。