2019年4月15日，信息学院拟购的“场发射扫描电子显微镜”、“电子束曝光系统”和“高真空磁控溅射仪”购置可行性论证会在勺园5乙楼305会议室举行，由实验室与设备管理部副部长周勇义主持。

　　拟购的“场发射扫描电子显微镜”是一套利用二次电子信号成像来观察样品的表面形态的成像系统，该系统用极狭窄的电子束去扫描样品，电子束与样品的相互作用产生二次电子发射，二次电子能够产生样品表面放大的形貌像并由电镜成像系统接收成像。目前校内同类设备使用机时饱满，无法满足申请人需要。专家组经讨论认为拟购设备具有出色的探测效率，能够实现亚纳米分辨成像等功能，满足申请人团队光子芯片的加工过程中，对曝光后图形、波导表面等样品的检测需求，是光子芯片研究必备的硬件支撑，设备的购置对北京大学在下一代光通信、光网络以及集成光电子的研究方面将发挥重要作用。

　　“电子束曝光系统”是利用聚焦电子束对有机聚合物（通常称为电子抗蚀剂或光刻胶）进行照射，受辐照后的有机聚合物的理化性质发生变化，从而形成精细图形的设备。目前校内同类设备使用机时饱满，无法满足申请人需要。专家组经讨论认为拟购设备具有高分辨电子束曝光和无写场拼接等功能，满足申请人团队光子芯片、新型光子操控机理及器件和光电子器件等相关研究的需求。设备的购置将对北京大学光子芯片的基础理论与实验研究方面将发挥重要作用。

　　“高真空磁控溅射仪”是一套利用Ar+离子轰击靶材，使材料喷溅并淀积到衬底表面，形成材料薄膜的设备。该设备利用磁场延长电子运动路径，增加碰撞几率，形成靶材的雪崩式激发，广泛应用在IC电路互连、MEMS双材料淀积、新器件化合物薄膜等方面。目前校内同类设备使用机时饱满，无法满足申请人需要。专家组经讨论认为拟购设备具有多种溅射模式，满足现阶段申请人团队研究高速光电器件的要求，是光电子领域研究的一种基础设备，仪器的购置将对北京大学在集成光电子领域的研究方面发挥重要作用。

　　专家组一致同意通过上述设备的可行性论证，设备购置经费已落实，设备的购置经费来源均为“国家重点实验室设备费”，由信息学院陈章渊教授申请购置。仪器设备运行经费有保障。设备购置后将主要用于校内相关学科教学科研工作，预计年开放共享机时分别为1000、100和1000小时左右。可行性论证专家组由北京邮电大学理学院黄善国教授，北京交通大学光波技术研究所延凤平教授，北京理工大学光电学院郭芃副教授，北京大学物理学院徐军教授级高级工程师、信息学院岳双林高级工程师组成。