我校信息科学技术学院购置的韩国G&P公司的“化学机械抛光机”于2019年5月9日到货。该设备由“建设世界一流大学（学科）和特色发展引导专项”经费支持，将用于纳米尺度三维器件集成项目中新工艺，新材料，新结构器件的研究。拟安装在微纳电子大厦101室，责任教授为黎明研究员。

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2018年10月8日信息学院“化学机械抛光机”通过可行性论证【18-123】

2018年11月13日由北京中教仪国际招标代理有限公司进行了公开招标