我校信息科学技术学院购置的奥地利EVG公司的“紫外曝光机”于2019年7月8日到货。该设备由仪器维修维护费支持，将用于亚微米级图形的曝光，满足对碳基集成电路研究的需求。拟安装在综合科研楼B112室，责任教授为彭练矛教授。

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2018年11月12日信息学院“紫外曝光机”通过可行性论证【18-145】

2019年1月16日北京大学紫外曝光机招标采购项目完成