2018年6月22日,信息学院微纳加工实验室拟购的“探针台”购置可行性论证会在微纳加工实验室会议室举行,由信息学院副院长谢冰教授主持。
拟购的“探针台”是一套用于准确表征器件电学输运特性的系统,该系统可以进行常温、低温以及变温测量,从而实现器件在不同环境下工作特性的表征。目前校内同类设备使用机时饱满,无法满足申请人的需求。专家组认为微纳平台作为校级公共平台之一,目前承担了众多校内外用户微纳器件制备和性能表征方面的测试任务,其中探针台主要用于纳米器件电学性能表征、直流以及射频测量等。平台现有设备机时饱满,且技术指标已经不能满足当前科研需要,尤其是移动精度和测量精度。拟采购的探针台具有射频功能且测量精度和可靠性高,可以满足平台每年50多个课题组200多用户的实验需要。该设备的购置将提高器件电学测量效率和精度,更高效的为工艺提供反馈信息,从而减少昂贵的纳米器件的重新设计,成为研究纳米器件电学性能的有力工具。
专家组一致同意通过上述设备的可行性论证,设备的购置经费来源为“修购项目”,由信息学院彭练矛教授申请购置。仪器设备运行经费有保障。设备购置后将用于服务校内外科研工作,预计年开放共享机时不低于1600小时。可行性论证专家组由清华大学物理系李群庆教授,中科院物理研究所杨海方研究员,北京大学物理学院罗强高级工程师、信息学院张志勇教授、丁力研究员组成。