我校信息科学技术学院购置的芬兰PICOSUN Oy公司的“等离子体增强原子层沉积设备”于2019年11月26日到货。该设备由国家自然基金经费支持，将用于新结构低功耗器件、负电容场效应晶体管和神经计算新型器件等方面的研究。拟安装在微纳电子大厦101室，责任教授为黄芊芊研究员。

相关信息：

2019年1月15日信息学院“等离子体增强原子层沉积设备”通过可行性论证【19-005】

2019年6月10日由东方国际招标有限责任公司进行了公开招标