我校信息科学技术学院购置的英国SPTS公司的“深硅刻蚀系统”于2019年12月10日到货。该设备由“建设世界一流大学（学科）和特色发展引导专项”经费支持，将用于三维微米/纳米结构制备等科研需求。拟安装在微纳电子大厦101室，责任教授为张大成教授。

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2019年4月18日信息学院“深硅刻蚀系统”通过可行性论证【19-017】

2019年10月财政部批准“单一来源”方式采购