2019年11月19日，物理学院拟购的“等离子体外延反应器”购置可行性论证会在勺园5乙楼305会议室举行。

　　拟购的“等离子体外延反应器”是一种在超高真空条件下利用等离子体辅助进行物理气相沉积的系统。在超高真空系统中，通过加热的方式使得所需组成元素的原子从其源炉中蒸发，该气态的原子或者分子在等离子体的氛围中碰击在处于一定温度的衬底表面，通过吸附与表面扩散的过程，最终使得原子或者分子按晶体排列的方式沉积在衬底表面而形成外延薄膜。目前校内同类设备使用率高，机时饱满。专家组认为申请人所在实验室正在开展新型拓扑半导体材料（低维的纳米薄膜或半导体量子阱结构等）物性的研究，在实验中需生产出高质量的半导体材料，这也是研究特殊量子特性的基础条件之一。拟购设备性能可靠，满足申请人生长优异物理性能量子材料的研究需求，是设计和生长新材料所必须的设备之一。该设备的购置将对北京大学的拓扑量子材料研究具有促进作用。

　　专家组一致同意通过上述设备的可行性论证，设备的购置经费来源为“统筹支持一流大学与一流学科经费”，由物理学院杜瑞瑞教授申请购置。仪器设备购置经费已落实，运行经费有保障。设备购置后将用于制备特殊新型的薄膜材料等科研工作，预计年使用机时为2000小时左右。可行性论证专家组由中科院微电子所夏洋研究员，中科院物理所刘广同研究员、吕力研究员，清华大学微电子所刘泽文教授，北京大学物理学院王新强教授组成。