我校信息科学技术学院购置的卡尔蔡司英国公司的“场发射扫描电子显微镜”于2020年4月17日到货。该设备由国家重点实验室设备费支持，将用于光子芯片的加工过程中，对曝光后图形、波导表面等样品的检测需求。拟安装在理科二号楼2403室，责任教授为陈章渊教授。

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2019年4月15日信息学院“场发射扫描电子显微镜”、“电子束曝光系统”和“高真空磁控溅射仪”通过可行性论证【19-（032-034）】

2019年8月1日由北京国际工程咨询有限公司进行了公开招标