我校信息科学技术学院购置的美国DENTON公司的“高真空磁控溅射仪”于2020年6月9日到货。该设备由国家重点实验室设备费支持，将用于研究高速光电器件等科研工作。拟安装在理科二号楼2404室，责任教授为陈章渊教授。

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2019年4月15日信息学院“场发射扫描电子显微镜”、“电子束曝光系统”和“高真空磁控溅射仪”通过可行性论证【19-（032-034）】

2019年6月24日由北京中教仪国际招标代理有限公司进行了公开招标