我校信息科学技术学院购置的ThermoFisher捷克公司的“线宽检测电镜”于2020年12月4日到货。该设备由国家发改委国家集成电路产教融合创新平台项目经费支持，将用于微机电系统（MEMS）和集成电路（IC）期间研究过程中，多种材料纳尺度结构的高清分辨率观测，尤其不导电材料的低电压、高分辨表征等研究。拟安装在微纳电子大厦一层101超净工艺实验室，责任教授为刘鹏工程师。

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国家发改委关于国家集成电路产教融合创新平台项目统一进行项目论证

2020年5月20日由东方国际招标有限责任公司进行了公开招标